我国的半导体产业正在飞速发展，对于空气洁净度的控制也日益严格。半导体行业对于空气洁净度有着极高的要求，这是因为微小的颗�：臀廴疚锒伎赡芏园氲继迤骷男阅懿卮笥跋�。今天，本文就来揭秘半导体行业空气洁净度的等级划分和适用场景。
空气洁净度
半导体材料的无尘车间洁净度标准主要分为多个等级，从高到低依次为：1级，10级，100级，1000级，10000级。其中，1级洁净度标准是最高的，要求非常严格，而10000级洁净度标准相对宽松一些。
等级定义的模式如下：
Class X (at Y μm )
其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微�：浚谡庑┝＞侗匦肼愀玫燃兜南薅取�
class10000
指每立方米空气中直径大于或等于0.5μm的尘埃粒子不超过10000颗，大于或等于5μm的尘埃粒子不超过70颗。
万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，在医工业中也很常用。
class1000
指每立方米空气中直径大于等于0.5μm的尘埃粒子数量不超过1000颗，大于或等于5μm的尘埃粒子不超过7颗。
相较于万级洁净度，千级洁净度对空气中的颗粒物控制更为严格。此类洁净度通常应用于半导体工厂的关键生产区域，如晶圆制造、封装测试等。
class100
指每立方米空气中直径大于等于0.5μm的尘埃粒子数量不超过100颗。
此外，对于微生物的要求也非常严格，要求完全无微生物存在。可用于医药工业的无菌制造工艺等。
class10
指每立方米空气中直径大于或等于0.1μm的尘埃粒子数量不超过350颗，大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过30颗，大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10颗。这个级别的洁净度通常用于半导体制造过程中的超净生产区域，如芯片制造、纳米技术等。
class1
指每立方米空气中直径大于等于0.5μm的尘埃粒子数量不超过1颗。无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的精确要求为亚微米。目前1级的洁净室在整个中国都非常少见。