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i-Stock Semi Foup stocker

FOUP（Front Opening Unified Pod）是半导体制造厂商中常用的晶圆存储载具，并将其从一个制造工站运输到另一个制造工站。半导体foup智能仓储则是通过高效智能的存储设备对FOUP进行存储管理，通过引入物联网、大数据、云计算等新一代信息技术，实现对FOUP的温度、湿度、洁净度等环境参数的准确控制，同时提高运输效率和准确度，减少业务流程中的错误率和损失。
技术参数

项目

参数

仓储型号

i-Stock Semi Foup stocker

外型尺寸

L5100*W2400*H2700(可定制)

物料种类

FOUP、FOSB、SMIF Pod、Mask、Cassette、Wafer Stack Box

wafer规格

6寸/8寸/12寸

存储容量

320盒(6寸Wafer Stack Box)

手臂负载

12-25kg (可定制)

定位精度

0.3-0.5mm

存/取时间

20~30s/盒

净化等级

class10；100；1000

震动

≤0.5G

噪音

≤75DB

UPS

断电后半小时供工控机上传资讯，操作系统正常关闭

通讯方式

SECS/GEM (E82/E88)

静电防护

防静电处理材质储位，表面阻值106-1011Ω
设备外部结构接地，设备电源接地 < 1Ω

温度湿度管控范围

控制范围:温度20-25°C，相对湿度10~45%RH
支持加充氨气

EFEM

可对接AMR/OHT

产品优势

  • 高智能

    一物一码一储位”实现无人化、
    准确化、智能化管理

  • 高效率

    双机械手协同作业，
    更高效率出入库拣�。锪献远看嫒�

  • 高精度

    提升物料拣选准确率和准确度，
    降低劳动强度与晶圆人为损耗

  • 洁净度

    搭载FFU，符合半导体车间洁净等级要求

  • 多模式

    多种出入库对接模式，
    从容应对各场景不同物料的输送需求

  • 可视化

    定制智能看板，数据智能可视

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